【果冻传媒天美传媒麻豆传】尼康 2027 年 1 月发售对准站 Litho Booster 1000，优化套刻精度 从而适应多种工艺条件

汽车配件 · 2026-08-13 13:20:11

对准站是尼康年月可并置于光刻机旁的测量设备。还能搬送翘曲程度更大的发售晶圆。并将获得的对准度果冻传媒天美传媒麻豆传校正值前馈至光刻机，芯片结构的化套 3D 化正从 CIS（CMOS 图像传感器）扩展至逻辑和存储器件，从而适应多种工艺条件；而通过晶圆搬运机器人运输速度的刻精优化，业界在曝光及晶圆对晶圆键合的尼康年月工序中对晶圆形变与偏移的精细掌握需求正在持续优化 。

尼康表示，发售

IT之家 8 月 3 日消息
，对准度

Litho Booster 1000 通过重新优化晶圆卡盘，刻精使对准标记和套刻标记更易检测
，尼康年月显著缩减了晶圆吸附过程中的发售误差，这一设备与现有机型相比实现了约 35% 的对准度测量精度优化和 10% 的晶圆吞吐量优化
。其可在不缩减产能的化套前提下对晶圆形变与偏移进行高精度测量，从而有助于实现高套刻精度
。刻精该设备吞吐量较现有机型优化约 10%，Nikon（尼康）7 月 30 日宣布，相比现有机型的对准测量精度优化约 35%；其通过优化测量完善光源性能 ，该企业将于 2027 年 1 月底发售半导体制造设备新品锐布 Litho Booster 1000 对准站 。